重大资讯,默孚龙光纤皇冠注册应用等离子蚀刻机,助力“中国芯”

发布日期:2018-07-07

  等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

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  全自动等离子蚀刻机的基本原理是在真空低气压下,ICP 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,在下电极的RF 射频作用下,这些等离子体对基片表面进行轰击,基片图形区域的半导体材料的化学键被打断,与刻蚀气体生成挥发性物质,以气体形式脱离基片,从真空管路被抽走。全自动等离子蚀刻机工作需要360°旋转,会遇到绕线问题,默孚龙推荐使用MFO系列光纤皇冠注册

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  默孚龙MFO系列光纤皇冠注册是目前工业皇冠注册里面技术难度最高的的一个系列产品,主要应用于360度连续旋转且需要保证电源,光纤信号不能中断的场合:如高端机器人、高端物料输送系统、军用车辆上的转动炮塔、远程控制系统、雷达天线、光纤传感等转台(速率台)的高速视频、数字、模拟信号的传输和控制、医疗系统、视频监视系统、保障国家或国际安全系统海底作业系统、紧急照明设备、机器人、展览/显示设备、医疗设备等。

  默孚龙拥有强大的研发实力,丰富的经验,独特的设计理念,先进的测试技术,以及数年来的技术积累和对国外先进技术的合作及吸取,使大家的技术始终保持国际领先水平,引领行业。

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